يستخدم مطياف الأشعة السينية على نطاق واسع للتحليل الكيميائي النوعي والكمي، على وجه الخصوص، في المجاهر الإلكترونية التصوير الشعاعي بالأشعة السينية هو تقنية تصوير تعتمد على تسجيل الشدة التي تمر عبر جسم ما باستخدام الأفلام أو أجهزة الكشف التي تسمح بجعل هيكلها الداخلي مرئيا بسبب الإختلاف المحلي في الامتصاص. تعتمد طريقة XRD على قدرة البلورات على حيود الأشعة السينية بطريقة مميزة تسمح بدراسة دقيقة لهيكل الأطوار البلورية تحتوي أنماط الحيود المسجلة على مساهمات مضافة للعديد من السمات الهيكلية الدقيقة والكلي للعينة. يتم إجراء مسح قصير للأجهزة لقياسات XRD  يتم بعد ذلك وصف طرق تحليل الطور وقياسات الإجهاد المتبقية  مبدأ الاساس يتكون مقياس حيود الأشعة السينية النموذجي من )4( مكونات رئيسية (1) أنبوب أشعة سينية مغلق ، مع أنود مستهدف من النحاس بشكل عام ، والذي يصدر طيفًا للأشعة السينية لخطوط طيفية مميزة متراكبة على خلفية إشعاعية "بيضاء" مستمرة ؛ (2) المرحلة التي يتم فيها تركيب مسحوق العينة ؛ (3) كاشف يقيس شدة الأشعة السينية المنعرجة بواسطة العينة ؛ و (4) نظام محاذاة الحزمة الذي يوجه الأشعة السينية العارضة من المصدر إلى العينة والأشعة السينية المنقسمة من العينة إلى الكاشف ؛ يقلل أحادي اللون من شدة الإشعاع الأبيض ويزيل الطول الموجي غير المرغوب فيه من طيف الأشعة السينية. يمكن عادةً تشغيل أجهزة قياس الانعكاس إما في الانعكاس أو تكوينات الإرسال. يعتبر الانعكاس أكثر شيوعا في الإعداد المختبري كما هو مبين في شكل (27.1)

شكل (27.1) جهاز انحراف الأشعة السينية