لإجراء تحليل كيفي يكتفي بأن يكون لدينا جدول بقيم λ، 2θ، لبلورة التحليل المستخدمة وكذلك جدول للخطوط K، L لكل العناصر مرتبة حسب القيم العددية لأطوال الأمواج.

وحيث إنه من المهم معرفة العنصر الذي يكون له خط تابع له في الطيف الذي نحصل عليه هل هو عنصر في العينة أو عنصر في مادة الهدف لأنبوبة الأشعة السينية المستخدمة؛ لذا فلا بد أن نفحص أولا الطيف الصادر من أنبوبة الأشعة وحدها، ولإجراء ذلك نستخدم مادة مثل الكربون أو البلاستيك توضع مكان العينة حيث تسقط عليها الأشعة بالطريقة المعتادة وتقوم هذه المادة بتشتيت جزء من الاشعة الأولية على الاسبكترومتر ولا تساهم بأي أشعة فلورية خاصة بها؛ لذلك فالطيف الذي نحصل عليه يحتوي فقط على الخطوط المميزة لعنصر الهدف والشوائب التي يحتويها.