تاريخ الفيزياء
علماء الفيزياء
الفيزياء الكلاسيكية
الميكانيك
الديناميكا الحرارية
الكهربائية والمغناطيسية
الكهربائية
المغناطيسية
الكهرومغناطيسية
علم البصريات
تاريخ علم البصريات
الضوء
مواضيع عامة في علم البصريات
الصوت
الفيزياء الحديثة
النظرية النسبية
النظرية النسبية الخاصة
النظرية النسبية العامة
مواضيع عامة في النظرية النسبية
ميكانيكا الكم
الفيزياء الذرية
الفيزياء الجزيئية
الفيزياء النووية
مواضيع عامة في الفيزياء النووية
النشاط الاشعاعي
فيزياء الحالة الصلبة
الموصلات
أشباه الموصلات
العوازل
مواضيع عامة في الفيزياء الصلبة
فيزياء الجوامد
الليزر
أنواع الليزر
بعض تطبيقات الليزر
مواضيع عامة في الليزر
علم الفلك
تاريخ وعلماء علم الفلك
الثقوب السوداء
المجموعة الشمسية
الشمس
كوكب عطارد
كوكب الزهرة
كوكب الأرض
كوكب المريخ
كوكب المشتري
كوكب زحل
كوكب أورانوس
كوكب نبتون
كوكب بلوتو
القمر
كواكب ومواضيع اخرى
مواضيع عامة في علم الفلك
النجوم
البلازما
الألكترونيات
خواص المادة
الطاقة البديلة
الطاقة الشمسية
مواضيع عامة في الطاقة البديلة
المد والجزر
فيزياء الجسيمات
الفيزياء والعلوم الأخرى
الفيزياء الكيميائية
الفيزياء الرياضية
الفيزياء الحيوية
الفيزياء العامة
مواضيع عامة في الفيزياء
تجارب فيزيائية
مصطلحات وتعاريف فيزيائية
وحدات القياس الفيزيائية
طرائف الفيزياء
مواضيع اخرى
الاقنعة الضوئية photo-mask
المؤلف:
الدكتور صبحي سعيد الراوي
المصدر:
فيزياء الألكترونات
الجزء والصفحة:
614
10-10-2021
1911
الاقنعة الضوئية photo-mask
يلزمنا - قبل البدء بتوليد مكونات الدائرة المتكاملة عن طريق عملية الانتشار بعض التحضيرات الضرورية الخاصة بتصنيع هده الدوائر. وعلى سبيل المثال نحتاج اولا الى التصاميم الهندسية الخاصة بمكونات هذه الدوائر المتكاملة اللازمة لكل خطوة في عملية التصنيع.
يتم في البداية رسم التصميم الهندسي على ورقة بطول 30 انج وعرض 30 انج وذلك للحصول على اعلى درجة من الدقة في الرسم لتلافي حدوث أي خطأ محتمل. ثم يصغر هذا التصميم حوالي (500) مرة بوساطة التصوير الضوئي . بعد ذلك يستخدم لوح من الزجاج. يكون حجمه بقدر حجم الرقاقة. فيطلى بمادة حساسة للضوء photo sensitive ثم يوضع التصميم على اللوح الزجاجي ولعدد من المرات ( من 50 لى 1500 مرة) يتم تعريضها الى الضوء في كل مرة
يعامل اللوح الزجاجي. بعد ذ لك . مع حامض الهيدروفلوريك فتذوب الاجزاء التي تعرضت للضوء دون غيرها ويتولد لدينا مايعرف بالاقنعة الضوئية photo-masks التي تستخدم لنقل الصور المطلوبة الى الشرائح المتعددة في الرقاقة ويوضح الشكل (1) احد هذه الصور.
الشكل (1) الصور المطلوبة على الشريحة
كذلك فان الشكل (2) يعطي فكرة عامة عما اردنا قوله في اعلاه. ففي هذا الشكل تم فصل أحد الشرائح من جاراتها في الرقاقة كما تم فصل ترانزستورمن هذه الشريحة عن باقي مكوناتها. وهكذا يمكنك الوصول الى حقيقة ما يجب أن تكون عليه عمية تصنيع الدوائر المتكاملة من تعقيد علما بأن لكل ترانزستور مجمعاً وقاعدة وباعثاً .
الشكل (2) تقسيم الرقاقة الى شرائح والمكونات التابعة لها.